@inproceedings{inproceedings0b3ca69c,
title   = {Formação e caracterização de filmes de nitreto de silício preparados por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente},
author = {Mamani, Wilmer Alexe Sucasaire and Matsuoka, Masao and Watanabe, S. and Zambom, Luís da Silva},
year = {2001},
publisher = {SBF},
booktitle   = {Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada}
}