@inproceedings{inproceedingsf88d5d79,
title   = {Produção de nanoestruturas semicondutoras através de litografia por feixe de elétrons},
author = {Rodrigues, Sergio Gasques and Alves, Marcus Vinicius and Marega Júnior, Euclydes},
year = {2001},
booktitle   = {Simpósio em Ciência e Engenharia de Materiais}
}