@inproceedings{inproceedings895b2ede,
title   = {Propriedades químicas, morfológicas e estruturais de filmes finos amorfos hidrogenados de oxinitreto de silício},
author = {Scopel, Wanderla Luis and Cuzinatto, R R and Tabacniks, Manfredo Harri and Fantini, Márcia Carvalho de Abreu and Alayo Chávez, Marco Isaías and Pereira, I},
year = {2000},
publisher = {LNLS},
booktitle   = {Reunião da Sociedade Brasileira de Cristalografia}
}