@inproceedings{inproceedingsa64050ea,
title   = {Processo de limpeza para laminas de silicio},
author = {Leite, N G and Santos Filho, Sebastião Gomes dos and Hasenack, Claus Martin},
year = {1994},
publisher = {Ifusp/Epusp/Ipt},
booktitle   = {Congresso Brasileiro de Engenharia e Ciencia dos Materiais}
}