@inproceedings{inproceedings4f11b4a9, title = {Producao de filmes finos de a-'SI': h e a-'SI' : h, por descarga luminescente de baixa frequencia}, author = {Fragalli, J F and Misoguti, L and Nakagaito, A N and Ramos, L R and Bagnato, Vanderlei Salvador}, year = {1994}, publisher = {Ufscar}, booktitle = {Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia} }