@inproceedings{inproceedings21fb361f,
title   = {Estudo por microscopia eletronica de varredura do perfil de corrosao de silicio obtido com plasma de cbrf3},
author = {Yamamoto, R K and Maciel, H. S.},
year = {1991},
publisher = {Sbme},
booktitle   = {Coloquio da Sociedade Brasileira de Microscopia Eletronica}
}