@inproceedings{inproceedings3f3d4e44, title = {Aplicação de filmes de siliceto de titanio na fabricação de transistores NMOS}, author = {Santos Filho, Sebastião Gomes dos and Swart, Jacobus Willibrordus}, year = {1988}, publisher = {Sbmicro/Epusp}, booktitle = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica} }