@inproceedings{inproceedings18eb00d1, title = {Estudo preliminar da formação de siliceto de cobalto}, author = {Freitas, W J and Swart, Jacobus Willibrordus and Sinatora, Amilton}, year = {1988}, publisher = {Sbmicro/Epusp}, booktitle = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica} }