@mastersthesis{mastersthesise4f3dd5e,
title   = {Deposição e caracterização de filmes de 'SI''O IND.2' crescidos pela técnica de pecvd a baixa temperatura},
author = {Alayo Chávez, Marco Isaías and Pereyra, Inés},
year = {1996},
school = {Universidade de São Paulo}
}