@mastersthesis{mastersthesisf66b4974,
title   = {Desenvolvimento de processos de fabricação de dispositivos óptico integrados em tecnologia de silício para aplicação em sensoriamento},
author = {Carvalho, Daniel Orquiza de and Alayo Chávez, Marco Isaías},
year = {2012},
school = {Universidade de São Paulo}
}