Hydrogenated amorphous silicon surface micromachined by femtosecond laser - Almeida, G. F. B.; Cardoso, Marcos Roberto; Aoki, P. H. B.; Constantino, C. J. L.; Lima Júnior, J. D.; Rodrigues, C. A.; Costa, Luciano da Fontoura; Mendonça, Cleber Renato (Semana Integrada do Instituto de Física de São Carlos - SIFSC, 2013)