Montagem e caracterização do sistema de deposição assistida por feixe de íons - Lopes, K C; Matsuoka, Masao; Sucasaire, W; Mittani, Juan Carlos Ramirez; Perego, C C; Tromba, Antonio Carlos; Morais, O B de; Meira, A O R (Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo, 2006)