Estrutura de ordem local em filmes de oxi-nitreto de silício ricos em nitrogênio submetidos a tratamento térmico - Scopel, Wanderla Luis; Fantini, Márcia Carvalho de Abreu; Alayo Chávez, Marco Isaías; Pereyra, Inés (Reunião Anual de Usuários do LNLS, 2003)