Influência dos parâmetros de corrosão em filmes de oxinitreto de silício depositados por PECVD para utilização em óptica integrada - Silva, Bárbara Dariano; Alayo Chávez, Marco Isaías; Iguchi, Kleber; Pereyra, Inés (Simpósio Internacional de Iniciação Científica da Universidade de São Paulo (SIICUSP, 2003)