Efeitos dos parametros de deposicao sobre a qualidade de multicamadas de a-'SI': h / a- 'SI ANTPOT.1-X' 'C ANTPOT.X' : h - Velasquez, E L Z; Fantini, Márcia Carvalho de Abreu; Páez Carreño, Marcelo Nelson; Pereyra, Inés; Takahashi, H.; Landers, R. (Encontro Nacional de Fisica da Materia Condensada, 1992)