Desenvolvimento de um sistema integrado multicamara para a deposicao de 'SI''O IND.2' dopados ou nao com boro e / ou fosforo por r / pecvd - Silva, Maria Lucia Pereira da; Shibata, Newton Yoshiyuki; Escote, Adolfo Tsuyama; Matsumura, Wellington Toshiyuki; Oliveira, Elisabeth de; Swart, Jacobus Willibrordus (Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia, 1992)