@mastersthesis{mastersthesisddcc3628, title = {Modelagem, formação e caracterização de filmes finos de óxido de gálio (Ga2O3)}, author = {Fidelis, Daniel Gonçalves and Chubaci, José Fernando Diniz}, year = {2025}, doi = {10.11606/D.43.2025.tde-10112025-141342}, school = {Universidade de São Paulo} }