@inproceedings{inproceedingse53ff492, title = {Surface characterization of Ti-Nb-Zr coatings deposited on si (100) wafer substrate}, author = {Garcia, Ana L. C. and Gobbi, Angelo Luiz and Mastelaro, Valmor Roberto and Nascente, Pedro A. P}, year = {2024}, publisher = {Universidade do Estado de Santa Catarina - UDESC}, booktitle = {Congresso Brasileiro de Aplicações de Vácuo na Indústria e na Ciência - CBrAVIC} }