@inproceedings{inproceedingsac059485, title = {Preparação de alvos cerâmicos de ZnO dopados com Al para deposição de filmes finos via sputtering}, author = {Souza, Agda Eunice de and Mastelaro, Valmor Roberto and Bernardi, Maria Inês Basso and Sales, Douglas Henrique and Teixeira, Silvio Rainho and Longo, Elson}, year = {2023}, publisher = {Associação Brasileira de Cerâmica - ABCERAM}, booktitle = {Congresso Brasileiro de Cerâmica - CBC} }