@mastersthesis{mastersthesiscb354b68,
title   = {Desenvolvimento de microaquecedores MEMS, para deposição de filmes finos, pela técnica LPCVD, em áreas micrométricas},
author = {Oliveira, Ricardo Aparecido Rodrigues de and Páez Carreño, Marcelo Nelson},
year = {2022},
school = {Universidade de São Paulo}
}