@inproceedings{inproceedings10d095a5, title = {Estudo do processo de incubação na microfabricação com pulsos de femtossegundos em GaN}, author = {Fermiano, Bruna de Lima and Mendonça, Cleber Renato and Paula, Kelly Tasso de}, year = {2022}, publisher = {Instituto de Física de São Carlos - IFSC}, booktitle = {Semana Integrada do Instituto de Física de São Carlos - SIFSC} }