@mastersthesis{mastersthesis8c043316, title = {Filmes de óxido de zinco e nitreto de zinco depositados por magnetron sputtering com diferentes pressões de argônio, oxigênio e nitrogênio}, author = {Damiani, Larissa Rodrigues and Mansano, Ronaldo Domingues}, year = {2015}, school = {Universidade de São Paulo} }