@inproceedings{inproceedings078547d1, title = {Formação de filmes finos de óxidos metálicos pela técnica IBAD (Ions Beam Assisted for Deposition)}, author = {Costa, Harliton Jonas and David, Denis G. F. and Silva, Antônio Ferreira da and Freitas Jr., Jaime A. and Chubaci, José Fernando Diniz and Matsuoka, Masao}, year = {2014}, booktitle = {Encontro de Físicos do Norte e Nordeste} }