@inproceedings{inproceedingsfbaa9db9,
title   = {Filmes finos de oxidos(HfO2, CeO2, TiO2) para dispositivos eletrônicos fabricados por IBAD (Ions Beam Assisted for Deposition)},
author = {Costa, Harliton Jonas da and David, Denis G F and Silva, Antonio Ferreira da and Chubaci, José Fernando Diniz and Matsuoka, Masao and Freitas Junior, Jaime A},
year = {2013},
publisher = {SBF},
booktitle   = {Encontro de Físicos do Norte e Nordeste}
}