@inproceedings{inproceedings3bb8c9b7,
title   = {Hydrogenated amorphous silicon surface micromachined by femtosecond laser},
author = {Almeida, G. F. B. and Cardoso, Marcos Roberto and Aoki, P. H. B. and Constantino, C. J. L. and Lima Júnior, J. D. and Rodrigues, C. A. and Costa, Luciano da Fontoura and Mendonça, Cleber Renato},
year = {2013},
publisher = {Universidade de São Paulo - USP, Instituto de Física de São Carlos - IFSC},
booktitle   = {Semana Integrada do Instituto de Física de São Carlos - SIFSC}
}