@inproceedings{inproceedings1f386b2f,
title   = {Desenvolvimento de um sistema de automação para MBE (epitaxia por feixe molecular)},
author = {Arakaki, Haroldo and Silva, R. V. and Siu Li, Máximo and Roda, Valentin Obac},
year = {1990},
booktitle   = {Congresso Brasileiro de Aplicações de Vácuo na Indústria e na Ciência - CBRAVIC}
}