@mastersthesis{mastersthesis09231179,
title   = {Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS},
author = {Pelegrini, Marcus Vinícius and Pereyra, Inés},
year = {2010},
school = {Universidade de São Paulo}
}