@mastersthesis{mastersthesisb1e0fd82,
title   = {Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos},
author = {Morales Alvarado, Ary Adilson and Pereyra, Inés},
year = {2008},
school = {Universidade de São Paulo}
}