@mastersthesis{mastersthesis641aed29,
title   = {Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS},
author = {Rehder, Gustavo Pamplona and Paez Carreño, Marcelo Nelson},
year = {2008},
school = {Universidade de São Paulo}
}