@inproceedings{inproceedings6796f7f2,
title   = {Software de simulação e visualização dos processos de microfabricação em superfície para sistemas micro-opto-eletro-mecânico (MOEMS)},
author = {Tsuda, Fernando and Paez Carreño, Marcelo Nelson},
year = {2006},
publisher = {USP},
booktitle   = {Simposio Internacional de Iniciaçao Cientifica da Universidade de Sao Paulo}
}