@article{article317ee884, title = {Montagem e caracterização do sistema de deposição assistida por feixe de íons}, author = {Lopes, K C and Matsuoka, Masao and Sucasaire, W and Mittani, Juan Carlos Ramirez and Perego, C C and Tromba, Antonio Carlos and Morais, O B de and Meira, A O R}, year = {2006}, journal = {Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo} }