@article{article2a615d5b, title = {Filmes finos de nitreto de carbono e nitreto de boro preparados com método de deposição assistida por feixe de íons}, author = {Matsuoka, Masao and Sucasaire, W and Lopes, K. C and Pontes, M and Chubaci, José Fernando Diniz and Avanci, L and Mittani, Juan C. R}, year = {2006}, journal = {Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo} }