@inproceedings{inproceedings38ff59ad,
title   = {Software de simulação dos processos de micro-fabricação para desenvolvimento de MEMS},
author = {Hokama, Paula Morita and Tsuda, Fernando and Paez Carreño, Marcelo Nelson},
year = {2005},
publisher = {Universidade de São Paulo},
booktitle   = {Simpósio Internacional de Iniciação Científica da Universidade de São Paulo}
}