@mastersthesis{mastersthesisfb1dc403,
title   = {Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD},
author = {Rehder, Gustavo Pamplona and Paez Carreño, Marcelo Nelson},
year = {2005},
school = {Universidade de São Paulo}
}