@inproceedings{inproceedingsacb8d110,
title   = {Estudo do uso de substratos de silício para fabricação de microsensores de posição},
author = {Pereira, Anderson Antunes and Ibrahim, Ricardo Cury},
year = {2004},
publisher = {USP},
booktitle   = {Simpósio Internacional de Iniciação Científica da Universidade de São Paulo}
}