@inproceedings{inproceedingsf4a1f88e,
title   = {Otimização dos processos de lixamento e polimento em dispositivos ópticos integrados},
author = {Siqueira, Vinícius Valério de and Alayo Chávez, Marco Isaías and Iguchi, Kleber and Pereyra, Inés},
year = {2004},
publisher = {USP},
booktitle   = {Simpósio Internacional de Iniciação Científica da Universidade de São Paulo}
}