@inproceedings{inproceedings1ea53ccc,
title   = {Caracterização de filmes de nitreto de silício formados por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente},
author = {Sucasaire, Wilmer and Matsuoka, Masao and Mittani, Juan Carlos Ramirez and Lopes, K C and Zambom, Luís da Silva},
year = {2004},
publisher = {SBF},
booktitle   = {Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada}
}