@inproceedings{inproceedings2b2d175d, title = {Microfibração de cantiléver para medida de módulo elástico de filmes finos}, author = {Vaz, A. R and Salvadori, Maria Cecília Barbosa da Silveira and Cattani, Mauro Sérgio Dorsa and Martins, D. R}, year = {2004}, publisher = {SBF}, booktitle = {Encontro Nacional de Fisica da Matéria Condensada} }