@inproceedings{inproceedingsc1a0f828,
title   = {Filme fino para passivação de substratos com alta desgaseificação},
author = {Carvalho, Rodrigo Amorim Motta and Silva, Maria Lucia Pereira da and Demarquette, Nicole Raymonde},
year = {2003},
publisher = {Universidade Estadual Paulista, Faculdade de Ciência},
booktitle   = {Congresso Brasileiro de Aplicações de Vácuo na Indústria e na Ciência-CBrAVIC}
}