@inproceedings{inproceedings53b77e86,
title   = {Estrutura de ordem local em filmes de oxi-nitreto de silício ricos em nitrogênio submetidos a tratamento térmico},
author = {Scopel, Wanderla Luis and Fantini, Márcia Carvalho de Abreu and Alayo Chávez, Marco Isaías and Pereyra, Inés},
year = {2003},
publisher = {Laboratório Nacional de Luz Sincrotron},
booktitle   = {Reunião Anual de Usuários do LNLS}
}