@inproceedings{inproceedings39d7f4d9, title = {Variação nos mecanismos de reação pela mudança na frequencia da fonte para deposição por plasma}, author = {Nascimento Filho, Antonio Pereira do and Hamanaka, Cristian Otsuka and Silva, Maria Lucia Pereira da and Demarquette, Nicole Raymonde}, year = {2003}, publisher = {Associação Brasileiro de Polímeros}, booktitle = {Congresso Brasileiro de Polímeros} }