@inproceedings{inproceedingsee16e14f,
title   = {Influência dos parâmetros de corrosão em filmes de oxinitreto de silício depositados por PECVD para utilização em óptica integrada},
author = {Silva, Bárbara Dariano and Alayo Chávez, Marco Isaías and Iguchi, Kleber and Pereyra, Inés},
year = {2003},
publisher = {USP},
booktitle   = {Simpósio Internacional de Iniciação Científica da Universidade de São Paulo (SIICUSP}
}