@mastersthesis{mastersthesisf7f828f6,
title   = {Estudo e produção de ligas amorfas hidrogenadas de silício, oxigênio e nitrogênio, (a-SiOxNy:H), com aglomerados de silício, obtidas pela técnica de PECVD},
author = {Oliveira, Ricardo Aparecido Rodrigues de and Pereyra, Inés},
year = {2003},
school = {Universidade de São Paulo}
}