@inproceedings{inproceedings00ec7972,
title   = {Estudo da pureza de filmes finos depositados por vacuum arc plasma deposition system},
author = {Martins, Deilton Reis and Salvadori, Maria Cecília Barbosa da Silveira},
year = {2002},
publisher = {SBF},
booktitle   = {Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada}
}