@mastersthesis{mastersthesis99f808f2,
title   = {Propriedades elétricas de películas finas de ligas de silício microcristalino hidrogenadas depositadas a baixas temperaturas},
author = {Nardes, Alexandre Mantovani and Dirani, Ely Antonio Tadeu},
year = {2002},
school = {Universidade de São Paulo}
}