@inproceedings{inproceedings844e1708,
title   = {Efeitos de "arrival rate" e de pressão de gás na composição de filmes de nitreto de titânio preparados com deposição assistida por feixe de íons},
author = {Matsuoka, Masao and Isotani, Sadao and Chubaci, José Fernando Diniz and Lopes, Karina Carvalho and Watanabe, Shigueo and Ogata, Kiyoshi},
year = {2001},
publisher = {SBF},
booktitle   = {Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada}
}