@mastersthesis{mastersthesis80a4079c,
title   = {Estudo e aplicação de litografia por feixe de elétrons na fabricação de estruturas de relevo contínuo para utilização em microóptica integrada},
author = {Moraes Junior, Hamilton Fernandes de and Seabra, Antonio Carlos},
year = {2001},
school = {Universidade de São Paulo}
}