@article{article745387e2,
title   = {Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente},
author = {Zambom, Luís da Silva and Furlan, Rogério and Mansano, Ronaldo Domingues},
year = {2000},
journal   = {Boletim Técnico da Escola Politécnica da USP. Departamento de Engenharia de Sistemas Eletrônicos}
}