@mastersthesis{mastersthesis306eb183,
title   = {Estudo e otimização das propriedades estruturais, ópticas e elétricas de películas de SiOxNy depositadas por PECVD para aplicações em dispositivos MOS, microestruturas e guias de onda},
author = {Alayo Chávez, Marco Isaías and Pereyra, Inés},
year = {2000},
school = {Universidade de São Paulo}
}