@inproceedings{inproceedingscec22283,
title   = {Deposição de filmes finos de oxinitreto de silício por PECVD},
author = {Sassaki, Carlos Alberto and Fonseca, Fernando Josepetti and Dirani, Ely Antonio Tadeu and Andrade, Adnei Melges de},
year = {1996},
publisher = {Sociedade Brasileira de Física},
booktitle   = {Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada}
}